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基礎(chǔ)信息Product information
產(chǎn)品名稱：
半導(dǎo)體封裝材料I-V測試平臺/探針臺
產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
所在地：北京市
更新日期：2025-03-12
產(chǎn)品簡介：
半導(dǎo)體封裝材料I-V測試平臺/探針臺，通過杠桿式支架，使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計不僅點針，而且點針力度大，和樣品的電接觸性較好。
產(chǎn)品特性Product characteristics
| 品牌 | 華測 |
|---|
半導(dǎo)體封裝材料I-V測試平臺/探針臺
一款溫度范圍-190℃-600℃的探針臺。使用時還可對樣品氣氛進行控制。這樣既可以保證，即使在極低溫度下，腔體也不產(chǎn)生結(jié)霜影響實驗，又可以防止樣品發(fā)生氧化。此款通過杠桿式支架，使用的是彎針探針。相比傳統(tǒng)的直針探針，這種設(shè)計不僅點針，而且點針力度大，和樣品的電接觸性較好。
| 項目 | 類別 | 參數(shù) |
| 溫控參數(shù) | 溫度范圍 | 負190℃-600℃（負溫需配液氮制冷系統(tǒng)） |
| 傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD/PID控制（含LVDC降噪電源） | |
| 大加熱/制冷速度 | +80℃/min(100℃時)，-50℃/min（100℃時） | |
| 小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min | |
| 溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃（＞25℃），±0.1℃（＜25℃） | |
| 軟件功能 | 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線 | |
| 電學參數(shù) | 探針 | 默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 可選其他種類探針 |
| 探針座 | 杠桿式探針支架，點針力度更大，電接觸性更好 | |
| 點針 | 手動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上位置 | |
| 探針接口 | 默認BNC接頭（可選三同軸）可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線） | |
| 臺面電位 | 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 | |
| 結(jié)構(gòu)參數(shù) | 加熱區(qū)/樣品區(qū) | 28mm X 30mm |
| 樣品腔高 | 6.3MM 樣品大厚度由探針決定 | |
| 放樣 | 打開上蓋后置入樣品再點針，關(guān)上蓋后無法移動探針 | |
| 氣氛控制 | 氣密腔，可充入保護氣體 *另有真空腔型號 | |
| 外殼冷卻 | 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近 | |
| 臺體尺寸/重量 | 180mm X 130mm X26mm /1500g | |
| 配置列表 | 基本配置 | 溫控探針臺、mK200B溫控器、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng) |
| 可選配件 | 測試源表、真空系統(tǒng)（僅用于真空型號）、三同軸BNC接口、臺面電懸空、樣品接電引線 |
二、功能特點
* 可編程精密控溫?？煽刂疲部蓮纳衔粰C軟件控制
* 探針需開蓋移動，樣品臺面電接地
* 探針，分別導(dǎo)通冷熱臺外殼上的4個BNC接口
* 杠桿式探針支架，點針力度大，電接觸性較好
* 彎針探針，點針精準
* 默認氣密腔室，通問2個快速自鎖接頭，可充保護氣體
* 上蓋帶有樣品觀察窗
* 臺體內(nèi)置干燥氣體管道，用于負溫時對視窗的除霜
* 視窗可拆卸與更換，可用不同材質(zhì)窗片實現(xiàn)不同波段光觀察
* 軟件可拓展性強，可提供LabView等語言的SDK
三、可定制更多測試功能
* 介電溫譜測試
* 四探針電阻率測試
* 絕緣電阻測試
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